إن الطول الموجي القصير لأشعة الليزر فوق البنفسجية يسمح لها بالعمل على مناطق صغيرة وبقع محددة.
تؤدي أطوال النبضة القصيرة وكثافات الطاقة العالية إلى إزالة كمية صغيرة من المادة لكل نبضة، مما يتيح إنتاج هياكل دقيقة محددة جيدًا.
تكون شدة الشعاع عالية جدًا لدرجة أنه يتم إزالة المادة في الطور البخاري في عملية تسمى الاستئصال، والنتيجة النهائية هي سطح نظيف.
تُعرف عملية وضع العلامات بالليزر فوق البنفسجي أيضًا بالعلامات الباردة لأن الضوء فوق البنفسجي يكسر الروابط بين ذرات وجزيئات المادة، مما يمنعها من ارتفاع درجة حرارتها، مما يؤدي إلى إنشاء منطقة تأثير حراري (HAZ) مع آثار جانبية على دقة المعالجة.
تتم عملية التحلل الضوئي عن طريق عملية تسمى التحلل الضوئي وتتطلب الحد الأدنى من الطاقة للحصول على علامات واضحة ومرئية، حيث تمتص المادة الضوء الذي يشعه الليزر إلى أقصى حد.